電容式接近開關(guān)的敏感元件由導電極板系統(tǒng)組成，可被視為一個或一組電容，附近出現(xiàn)或經(jīng)過的導電體和介電體改變極板系統(tǒng)中的靜電場分布，從而改變敏感元件的電容。信號處理電路檢測出這種變化，就可以檢測出目標物體的接近。相比之下，電容式傳感器的結(jié)構(gòu)較為簡單、工作阻抗高，因而功耗較低，此外通過鎖頻或頻譜擴展載波調(diào)制技術(shù)，可以使之不受寄生或有意的干擾影響。其他方案則很難達到設計者的要求。
機械開關(guān)的穩(wěn)定性和可靠性較差磁敏感方式功耗過大，也容易受外磁場的影響；光學式和超聲式傳感器的結(jié)構(gòu)較為復雜，容易受外界干擾。
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